当社グループの研究開発活動は、経営理念「QUICK」に基づき常に最先端の技術を磨き、世界の評価に応えられる独自技術を備えた製品の開発を目指し、信頼性の高い製品づくりを基本方針としております。

　また、新技術の開発を推進すると同時に、特許権等の知的財産権についても積極的に申請を行っております。

　当社グループの研究開発活動は、設計部門及び開発部門が中心となり、必要に応じてプロジェクトチームを編成しております。技術開発の一部については、大学、他社との共同研究を行っており、多くの英知を結集させております。

　また、当社グループ取扱い製品のラインナップ拡充による当社グループの業容拡大を図るため、2004年12月に、医療・環境分野に関連した製品の開発・製造販売を行っている株式会社IDXの株式を取得し、同社を子会社化しております。これにより技術の補完・融合による製品開発が可能となり、開発期間の短縮を図るとともに、既存事業における基礎技術の高度化に取り組んでおります。

　当連結会計年度におけるグループ全体の研究開発費は、709百万円であり、セグメントごとの研究目的、研究成果及び研究開発費については、以下のとおりであります。

(1）半導体・液晶関連事業

　主に半導体・液晶基板製造工程において使用される製造装置に搭載するプラズマ用高周波電源、マッチングユニット及び計測器等を中心とした研究開発を行っております。

　当連結会計年度における研究開発活動の状況は、半導体・液晶製造装置市場において要求されている低価格化及び小型化、信頼性の向上などを目的とした新製品開発や技術開発に取り組んでまいりました。

　なお、当事業に係る研究開発費の総額は、593百万円であります。

(2）研究機関・大学関連事業

　パワー・エレクトロニクスの技術を活用して粒子加速器等の直流安定化電源、医療システム用電源、超電導システム用直流安定化電源、半導体製造用マイクロ波電源及び電力半導体試験装置等を中心とした研究開発を行っております。

　なお、当事業に係る研究開発費の総額は、120百万円であります。